Reseutbud
20 mm
Upplösning
0,125 μm
Repeterbarhet
＜1 μm
Rakhet
＜2 μm
Parallellism
＜5 μm
Pitching
10 tum(50 μrad）
Gäspar
Maxhastighet
5 mm/sek
Lastkapacitet
10 kg
Vikt
1,5 kg
