Mini Stage: WN262TA20H

Reseutbud

20 mm

Upplösning

0,125 μm

Repeterbarhet

＜1 μm

Rakhet

＜2 μm

Parallellism

＜5 μm

Pitching

10 tum(50 μrad）

Gäspar

10 tum(50 μrad）

Maxhastighet

5 mm/sek

Lastkapacitet

10 kg

Vikt

1,5 kg